機械加工・高圧/特殊ガス配管・溶接・組立・設計、中古半導体製造装置再生・付帯工事・設計なら当社へお任せください。

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リファブ、フィールドサービス

中古半導体製造装置再生事業、日本におけるトップランナーとしての誇りがあります。

90年代半ば、当社は日本で初めて本格的な半導体製造装置再生(リファブ)を事業として開始致しました。
その後、専門子会社設立、大型クリーンルームを備えたメカニカルセンター開設等、トップランナーとして走り続けて参りました。
知識、経験、技術力、そして情報力。そのどれもがお客様にご満足いただけることと自負しております。

当事業部メンバーは8割が業界最大手メーカー出身。豊富な知識を活かしたサービス提供。

当事業開始時、技術力の源泉は、業界最大手装置メーカー日本法人であるアブライドマテリアルズ ジャパン(AMJ)社の出身者が多数在籍していたことでした。
その後事業部の人数は増えましたが比率は今も高く、当事業の中核を担っています。
もちろん、それ以外にも優秀なメンバー揃いです。

サービス全体像

当社には、中古半導体製造装置の再生関連のサービスを、買取から再生、立ち上げ、メンテナンスまで1社で全て請け負える体制があります。それも下請けに出すのではなく、社内メンバーでまかなうため、コスト面でも優位性があります。
もちろん、お客様は下記から必要なサービスだけご利用いただけます。

装置の買取・販売
(中古半導体製造装置売買)
当社施設内へ搬入 クリーンルームにて再生 次のユーザ様施設内へ移送 計装、付帯工事 装置立ち上げ 保守・メンテナンス

リファブ(中古半導体製造装置再生) Refurbishment

中古半導体製造装置の再生(オーバーホール:消耗部品の交換・修理メンテナンス)を行います。
不要になった装置を当社の施設内(クリーンルーム)で再生させ、次のユーザ様へ引渡します。

コスト面の関係から最近では少なくなりましたが、プロセスコンバージョンも可能です。
(例:エッチング装置からCVD装置へ)

強み:前工程装置200台の実績

AMAT社、LAM社の前工程の装置を中心に200台以上の再生実績があります。(CDV装置、PVD装置、エッチング装置、洗浄装置…etc)

強み:メーカーと連携して新品、中古品のパーツ供給も可能

金額/納期/品質(新品・中古品)のバランスを考え、ご予算と目的に応じた最適なパターンをご提案できます。
装置メーカーと連携してパーツ供給も可能です。

強み:正社員としてエンジニアを多数抱えている安心感

当社では30名以上の実力のある半導体製造装置関連エンジニアを正社員として抱えています。
大型移設案件では安定した対応。装置再生・立ち上げ後の保守サービスでは余裕を持って対応できる人員体制です。

強み:クラス1000の大型クリーンルームを川崎に5室保有、本社にも

大型の装置を同時に5台並べて再生できる施設を川崎に保有しています。
規模のある移設案件にも対応出来ます。

強み:関連サービスをワンストップで提供できる総合力

例えば中古半導体製造装置を当社でお買い上げいただき、リファブ、装置立ち上げ、さらには真空配管などの付帯工事、工場内の特殊・高圧ガス配管まで社内の専門部隊が対応可能です。
保守・メンテナンスも引き続きご指名いただければ、御社の装置・現場を熟知した力強いパートナーとなります。
当然コストメリットも生まれます。

フィールドサービス(保守・メンテナンス) Field service

中古半導体製造装置の保守サービスを行っています。
装置の据付、立ち上げ(ハードウェア立ち上げ・プロセス立ち上げ)といった導入時の対応や、定期点検・消耗品交換といった運用時の対応、さらには異常発生時の調査・修理対応まで承ります。

CMP 半導体用研磨HEADリビルドも承ります(アプライドマテリアルズ ジャパン社委託事業)

当社ではCMP半導体用研磨ヘッドのリビルドも行っています。
当事業はアプライドマテリアルズ ジャパン(AMJ)社の委託事業のため、ご用命の際の窓口はAMJ社様となります。当社にご相談頂ければお取次ぎ致します。

お電話の際には「ウェブサイトを見て、リファブ、フィールドサービスの件で…」とお伝え頂けるとスムーズです。

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