機械加工・高圧/特殊ガス配管・溶接・組立・設計、中古半導体製造装置再生・付帯工事・設計なら当社へお任せください。

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装置部品・ユニット修理

半導体製造装置部品修理、ユニット修理(ジェネレーター(高周波電源)、マッチングボックス、ターボポンプ/ドライポンプ、 搬送ロボット、ヒートエクスチェンジャー(熱交換器)、マグネットドライバー、ランプドライバー、UPS、等々)を承ります。

バージョンアップも含めた提案も可能です。

オーバーホールだけでなく、バージョンアップを含めたオーバーホールの提案も可能。
修理に時間がかかる場合、代替品の貸し出しも一部可能です。(ポンプ類など)

オーバーホール品の年間契約もご提案可能です。

装置の安定稼動のためには、定期的に発生するような部品修理の待ち時間をゼロに近づける必要があります。当社にて予備の部品を保有・確保し、修理が発生した場合代替品を貸し出す年間契約も可能です。

単体部品の修理も承ります。

半導体製造装置の単体部品の修理も可能です。ご相談ください。

お電話の際には「ウェブサイトを見て、装置部品・ユニット修理の件で…」とお伝え頂けるとスムーズです。

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