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技術転用のご提案 特設ページ

搬送~洗浄を一連の流れで・・・

装置制作実績

コーター

(R&D向け)卓上型スピンコーター
回転カップ式スピンコーター

デベロッパー(現像)

スピン式現像装置
枚葉式現像装置

洗浄

枚葉式ウェット洗浄装置
ディップ式ウェット洗浄装置
超音波洗浄・シャワー洗浄

剥離

レジスト剥離装置
リフトオフ装置

乾燥

リンサードライヤー
スピンドライヤー

ベーク

ホットプレート
セミオートベーク装置
プライマー塗布装置

エッチング

ウェットエッチング装置

露光

UVキュア装置
エキシマUV照射装置

*************
上記装置のインラインシステム化も対応可能
搬送ロボット搭載
洗浄~コーター~現像装置
コーター~現像~ベーク装置など

この技術の特徴

弊社はカスタム装置製作の技術集団であり、自由な組み合わせで御社オリジナルの装置をご提供致します。温度技術・真空技術の組み合わせも受け賜ります。O-TEC

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