機械加工・高圧/特殊ガス配管・溶接・組立・設計、中古半導体製造装置再生・付帯工事・設計なら当社へお任せください。

English
事業案内
HOME事業案内事例・実績紹介社員紹介会社概要WEBショップお問い合わせ

HOME > 事業案内 > ウエハー ファウンドリーサービス > 成膜加工(CVD)

成膜加工(CVD)

O-TECは、PE=CVDのSiO2、SiNを中心に成膜の受託加工を行っております。 厚膜の熱酸化膜への対応、小数枚の熱酸化膜へのご要求にも在庫品で対応できる場合がありますので、お気軽にお問い合わせください。

●・・・対応可能

膜種

プロセス

~Φ4

Φ5

Φ6

Φ8

Φ12

SiO2

熱酸化 Wet

熱酸化 Dry

PE-CVD

LP-CVD

SiN

PE-CVD

LP-CVD

TEOS

PE-CVD

α-Si

PE-CVD

Poly-Si

LP-CVD

SiC

PE-CVD

DLC

PE-CVD

・1枚からの成膜が可能です。
・低温CVDは、100℃以下での成膜が可能です。
・異形サイズの基板への成膜も対応可能です。
・樹脂、フィルムなどの材質への成膜も可能です。
・パターニング後の基板も投入可能です。

ウエーハ ファウンドリーサービス一覧

ナノパターンウエーハ

サービスの流れ(一例)

ご要望ヒアリング→ご提案・打合せ・お見積り→ご発注→製作→納品

お電話の際には、「ウェブサイトを見て、ウエーハサービスの件で…」とお伝え頂けるとスムーズです。

HOME > 事業案内 > ウエーハ ファウンドリーサービス > 成膜加工(CVD)