機械加工・高圧/特殊ガス配管・溶接・組立・設計、中古半導体製造装置再生・付帯工事・設計なら当社へお任せください。

English
事業案内
HOME事業案内事例・実績紹介社員紹介会社概要WEBショップお問い合わせ

HOME > 事業案内 > ウエーハ ファウンドリーサービス > Φ200mm ナノパターンウエーハ

Φ200mm ナノパターンウエーハ

KrFステッパーによる微細パターンウエーハを提供いたします。
パターンレイアウトはカスタム対応が可能です。
パターンサイズにつきましては、下記仕様以外にも対応可能ですので、ご相談下さい。

パターン寸法

75nm 100nm 150nm 200nm

パターン形状

ライン&スペース、ピラー

ショットサイズ

4mm□

基板

合成石英、シリコンウエーハ、など

基板サイズ

Φ200mm

特徴

・カスタム対応 ・つなぎパターン ・ダブルパターニング

ナノパターンウエーハ 加工事例

※写真クリックで拡大いたします。

ライン&スペースパターン

ライン&スペースパターン例1 ライン&スペースパターン例2 ライン&スペースパターン例3

ピラーパターン

ピラーパターン例1 ピラーパターン例2 ピラーパターン例3

ウエーハ ファウンドリーサービス一覧

ナノパターンウエーハ

サービスの流れ(一例)

ご要望ヒアリング→ご提案・打合せ・お見積り→ご発注→製作→納品

お電話の際には、「ウェブサイトを見て、ウエーハサービスの件で…」とお伝え頂けるとスムーズです。

HOME > 事業案内 > ウエーハ ファウンドリーサービス > 成膜加工(PVD)