機械加工・高圧/特殊ガス配管・溶接・組立・設計、中古半導体製造装置再生・付帯工事・設計なら当社へお任せください。

English
事業案内
HOME事業案内事例・実績紹介社員紹介会社概要WEBショップお問い合わせ

HOME > 事業案内 > ウエハー ファウンドリーサービス > パターニング

パターニング

弊社は6インチのMEMS加工を中心に展開をしておりますが、8インチ、12インチへの部分的なパターニングの対応も可能です。

基板サイズ、パターン仕様に応じて装置を選定します。 1枚からの対応も可能です。 シリコン以外の基板も対応しますので、お気軽にご相談ください。

マスク製作、基板投入、成膜、露光、現像・エッチング、その他加工

●・・・対応可能

プロセス

~Φ4

~Φ5

~Φ6

~Φ8

~Φ12

アライナー

両面アライナー
i 線,g線ステッパー
KrFステッパー

EB

ウエットエッチング

ミリング

RIE

Deep-RIE

加工事例

  • ・シリコン深堀
  • ・バンプ形成
  • ・Siフォトエッチング
  • ・ALフォトエッチング
  • ・Crフォトエッチング
  • ・ITOフォトエッチング
  • ・Siピラー形成
  • ・CSP、WCSP
  • ・石英フォトエッチング
  • ・Cuフォトエッチング)
  • ・Auフォトエッチング
  • ・リフトオフ加工

※写真クリックで拡大いたします。

ウエーハ ファウンドリーサービス一覧

ナノパターンウエーハ

サービスの流れ(一例)

ご要望ヒアリング→ご提案・打合せ・お見積り→ご発注→製作→納品

お電話の際には、「ウェブサイトを見て、ウエーハサービスの件で…」とお伝え頂けるとスムーズです。

HOME > 事業案内 > ウエーハ ファウンドリーサービス > パターニング