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成膜加工(PVD)

O-TECは、PE-CVD成膜の受託加工を中心にスパッタ、イオンプレーティング、蒸着、EB蒸着による成膜も行っております。 大口径基板への成膜も可能なターゲットもございますので、お気軽にお問い合わせください。

種別

ウエーハサイズ

ターゲット

メタル系

~300mm

Au Ag Al Cr Ni Ti Cu Ta Mo W

~200mm

Pt Pd Ru Co Mn Mg Nb Si Ge Fe Nd Sb Sn V Zn SUS316 SUS314

合金系

~300mm

Al-Si-Cu Al-Si Al-Cu

~200mm

Ti-W Ni-Cr W-Si MoSi Ag+Pd パーマロイ

Ti-Ni

酸化物系

~300mm

Al2O3 SiO2 ZnO MgO ZrO2 Ta2O5

TiO2 ITO

~200mm

SiO Cr2O3 Y2O3 AZO BaTiO3 YBCO

MoO3 SrTiO3 TiC-SiO2 TaSiO2 CeO2

窒化物系

~300mm

Si3N4 TiN

~200mm

TaN ZrN AlN BN サイアロン

・1枚からの成膜が可能です。
・異形サイズの基板への成膜も対応可能です。
・樹脂、フィルムなどの材質への成膜も可能です。
・メタルマスクを使用しての部分的成膜も可能です。
・パターニング後の基板も投入可能です。
・膜種によっては、Φ300mm以上の基板対応が可能です。

ウエーハ ファウンドリーサービス一覧

ナノパターンウエーハ

サービスの流れ(一例)

ご要望ヒアリング→ご提案・打合せ・お見積り→ご発注→製作→納品

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