装置の各部品、各ユニット（RFジェネレーター、マッチングボックス、ターボポンプ、ドライポンプ、 搬送ロボット、等々）の修理を承ります。

当社では装置メーカー、機器メーカーからの委託事業も行っております。

・AMJ社・・・CMPヘッドリビルド
・日本MKS社・・・RF電源　リペア
・トルンプヒュッティンガ—社　・・・DC電源　リペア
・日本ポール社・・・機器校正

バージョンアップも含めた提案も可能です。

オーバーホールだけでなく、バージョンアップを含めたオーバーホールの提案も可能。
修理に時間がかかる場合、代替品の貸し出しも一部可能です。（ポンプ類など）