成膜加工（CVD）

O-TECは、PE=CVDのSiO2、SiNを中心に成膜の受託加工を行っております。 厚膜の熱酸化膜への対応、小数枚の熱酸化膜へのご要求にも在庫品で対応できる場合がありますので、お気軽にお問い合わせください。

●・・・対応可能

膜種 プロセス ～Φ４ Φ５ Φ６ Φ８ Φ12
SiO2 熱酸化 Wet ● ● ● ● ●
熱酸化 Dry ● ● ● ● ●
PE-CVD ● ● ● ● ―
LP-CVD ● ● ● ― ―
SiO2 PE-CVD ● ● ● ● ―
LP-CVD ● ● ● ― ―
TEOS PE-CVD ● ● ● ● ―
α-Si PE-CVD ● ― ― ― ―
Poly-Si LP-CVD ● ● ● ― ―
SiC PE-CVD ● ● ● ● ●
DLC PE-CVD ● ● ● ● ●
  • １枚からの成膜が可能です。
  • 低温ＣＶＤは、１００℃以下での成膜が可能です。
  • 異形サイズの基板への成膜も対応可能です。
  • 樹脂、フィルムなどの材質への成膜も可能です。
  • パターニング後の基板も投入可能です。

O-TECファウンドリーサービスの特長

1．少数枚対応可能。試作開発に最適！

御社の製造ラインを止めずに弊社の技術者と設備で開発いただけます。

2．ご希望に応じ、一貫したものづくりが出来ます！

素材調達・成膜・パターニング・特殊加工まで。さらに量産時には、業界随一の大村技研ネットワークで同種の製造装置を調達可能。試作開発から量産まで、ご希望に応じたベストな提案が可能です。

ウエーハ ファウンドリーサービス一覧

サービスの流れ（一例）

  1. ご要望ヒアリング
  2. ご提案・打合せ・お見積り
  3. ご発注
  4. 製作
  5. 納品

まずはお気軽にお問合せください。迅速対応いたします。

お電話の際には、「ウェブサイトを見て、ウエハーサービスの件で…」とお伝え頂けるとスムーズです。

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