成膜加工（PVD）
O-TECは、PE-CVD成膜の受託加工を中心にスパッタ、イオンプレーティング、蒸着、EB蒸着による成膜も行っております。 大口径基板への成膜も可能なターゲットもございますので、お気軽にお問い合わせください。
| 種別 | ウエーハサイズ | ターゲット |
|---|---|---|
| メタル系 | ～300mm | Au Ag Al Cr Ni Ti Cu Ta Mo W |
| ～200mm | Pt Pd Ru Co Mn Mg Nb Si Ge Fe Nd Sb Sn V Zn SUS316 SUS314 | |
| 合金系 | ～300mm | Al-Si-Cu Al-Si Al-Cu |
| ～200mm | Ti-W Ni-Cr W-Si MoSi Ag＋Pd パーマロイ Ti-Ni | |
| 酸化物系 | ～300mm | Al2O3 SiO2 ZnO MgO ZrO2 Ta2O5 TiO2 ITO |
| ～200mm | SiO Cr2O3 Y2O3 AZO BaTiO3 YBCO MoO3 SrTiO3 TiC-SiO2 TaSiO2 CeO2 | |
| 窒化物系 | ～300mm | Si3N4 TiN |
| ～200mm | TaN ZrN AlN BN サイアロン |
- １枚からの成膜が可能です。
- 異形サイズの基板への成膜も対応可能です。
- 樹脂、フィルムなどの材質への成膜も可能です。
- メタルマスクを使用しての部分的成膜も可能です。
- パターニング後の基板も投入可能です。
- 膜種によっては、Φ３００ｍｍ以上の基板対応が可能です。
O-TECファウンドリーサービスの特長
1．少数枚対応可能。試作開発に最適！
御社の製造ラインを止めずに弊社の技術者と設備で開発いただけます。
2．ご希望に応じ、一貫したものづくりが出来ます！
素材調達・成膜・パターニング・特殊加工まで。さらに量産時には、業界随一の大村技研ネットワークで同種の製造装置を調達可能。試作開発から量産まで、ご希望に応じたベストな提案が可能です。
ウエーハ ファウンドリーサービス一覧
サービスの流れ（一例）
- ご要望ヒアリング
- ご提案・打合せ・お見積り
- ご発注
- 製作
- 納品
まずはお気軽にお問合せください。迅速対応いたします。
お電話の際には、「ウェブサイトを見て、ウエハーサービスの件で…」とお伝え頂けるとスムーズです。
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- 本社代表
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