事例:フィールドサービス

複合的知識を駆使、チャンバークリーニング後のパーティクル不具合を解消

某半導体製造工場様では、使用しているエッチング装置において、チャンバークリーニング後のパーティクル不具合に困っていました。
お客様側で試行錯誤し改善を試みても、一向に直らず、当社へご相談いただくことに。

状況

改善を確認！: チャンバークリーニング後、一昼夜ダミーウエハを流して、製品着工を行っていたが、レシピ適正化後はダミーラン10枚ほどで着工できるように改善されました。

時間、ウエハー、用力の削減が出来、大満足の結果となりました。

今回の例は、装置知識のハードはもちろんの事、プロセス知識がないと対応が難しいトラブルです。
結果は、お客様の使用状況を的確に掌握し、ここからシーズニングレシピが影響している事を導き改善する事が出来ました。

当社には装置単体の知識にとどまらない、半導体製造に関わる知識を総合的に実地レベルで運用できるエンジニアがおります。
お困りの際には是非ご相談ください。

お電話の際には、「ウェブサイトを見て、フィールドサービスの件で…」とお伝え頂けるとスムーズです。