ナノパターン
KrFステッパーによる微細パターンウエーハを提供いたします。
パターンレイアウトはカスタム対応が可能です。
パターンサイズにつきましては、下記仕様以外にも対応可能ですので、ご相談下さい。
| パターン寸法 | 75nm 100nm 150nm 200nm |
| パターン形状 | ライン＆スペース、ピラー |
| ショットサイズ | 4mm□ |
| 基板 | 合成石英、シリコンウエーハ、など |
| 基板サイズ | Φ200mm |
| 特徴 | ・カスタム対応 ・つなぎパターン ・ダブルパターニング |
ナノパターンウエーハ 加工事例
※写真クリックで拡大いたします。
ライン＆スペースパターン
ピラーパターン
O-TECファウンドリーサービスの特長
1．少数枚対応可能。試作開発に最適！
御社の製造ラインを止めずに弊社の技術者と設備で開発いただけます。
2．ご希望に応じ、一貫したものづくりが出来ます！
素材調達・成膜・パターニング・特殊加工まで。さらに量産時には、業界随一の大村技研ネットワークで同種の製造装置を調達可能。試作開発から量産まで、ご希望に応じたベストな提案が可能です。
ウエーハ ファウンドリーサービス一覧
サービスの流れ（一例）
- ご要望ヒアリング
- ご提案・打合せ・お見積り
- ご発注
- 製作
- 納品
まずはお気軽にお問合せください。迅速対応いたします。
お電話の際には、「ウェブサイトを見て、ウエハーサービスの件で…」とお伝え頂けるとスムーズです。
お電話でのお問い合わせ
- 本社代表
- 03-3490-0708
- 受付時間
- 平日8:00～17:00