概略装置説明及び仕様
| 外形寸法 | W2500×H2750×D2100 |
|---|---|
| 処理能力 | >300-400wfrs/Hour(30s Process) |
| コントローラーユニット |
|
| EFEM |
|
| 搬送モジュール |
|
| プロセスチャンバーモジュール |
|
| FA 対応 |
|
デュアルプラテンプロセスチャンバー
この装置は過去実績の一例です。
当社は装置のカスタムメーカーとして、お客様の要望に合わせた装置を設計・製作致します。是非ご相談ください。
その他の装置設計製作例（装置関連）
装置製作例紹介
温度制御技術
環境試験装置
超高圧関連
WET装置
お問い合わせ
お電話の際には、「ウェブサイトを見て、装置設計製作の件で」とお伝え頂くとスムーズです。
