概略装置説明及び仕様
| 外形寸法 (2洗浄槽＋2真空槽) | W2800×H4450×D2720 |
|---|---|
| 処理能力 | ≥15 / Hour |
| コントローラーユニット |
|
| EFEM |
|
| 洗浄槽 |
|
| 真空槽 |
|
この装置は過去実績の一例です。
当社は装置のカスタムメーカーとして、お客様の要望に合わせた装置を設計・製作致します。是非ご相談ください。
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