概略装置説明及び仕様
| 外観 | |
|---|---|
| 炉体寸法 | H2890×D1000×W2800 |
| ローダーベンチ | H2890×D1000×W4000 |
| ガスボックス | H2790×D1200×W1000 |
| 炉体 | |
|---|---|
| ヒーター | 8インチ炉対応5ゾーンヒーター |
| 最高使用温度 | 1250℃ |
| プロセス | |
|---|---|
| 生成膜 | ボロン酸化 |
| 反応ガス | N2、O2 |
| 処理温度 | 1100℃ |
| 常用温度 | 600℃～1000℃ |
この装置は過去実績の一例です。
当社は装置のカスタムメーカーとして、お客様の要望に合わせた装置を設計・製作致します。是非ご相談ください。
その他の装置設計製作例（装置関連）
装置製作例紹介
温度制御技術
環境試験装置
超高圧関連
WET装置
お問い合わせ
お電話の際には、「ウェブサイトを見て、装置設計製作の件で」とお伝え頂くとスムーズです。
