概略装置説明及び仕様
| 外観 | |
|---|---|
| 炉体寸法 | H2250×W600×D1500 |
| 炉体重量 | 700kg |
| 炉体 | |
|---|---|
| ヒーター | 4インチ炉専用ヒーター |
| 最高使用温度 | 1250℃ |
| プロセス | |
|---|---|
| 生成膜 | DRY酸化 |
| 反応ガス | O2 |
| 生成温度 | 900℃～1150℃ |
| 面内均一性 | ±2.5％ |
| 常用温度 | 800℃ |
この装置は過去実績の一例です。
当社は装置のカスタムメーカーとして、お客様の要望に合わせた装置を設計・製作致します。是非ご相談ください。
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