フィールドサービス・技術者派遣

半導体製造装置の保守サービスを行っています。
装置の据付及びハードウェア・プロセス立上げ作業の対応や、定期点検・消耗部品交換といった保守対応、
さらには不具合調査・修理まで承ります。
ご要請により、当社の技術者の常駐派遣も行っております。

装置部品・ユニット修理・委託事業

装置の各部品、各ユニット（RFジェネレーター、マッチングボックス、ターボポンプ、ドライポンプ、 搬送ロボット、等々）の修理を承ります。
当社では装置メーカー、機器メーカーからの委託事業も行っております。

• AMJ社・・・CMPヘッドリビルド
• 日本MKS社・・・RF電源　リペア

事業案内