| Client | 半導体製造工場様 |
|---|---|
| Case | パーティクルが除去しきれない |
チャンバークリーニング後の
パーティクル不具合にお悩み。
改善を試みても一向に直らず、
当社へご相談。
チャンバークリーニング後に
パーティクル不具合が発生する
ハードには、異常は見られません。
チャンバー内、プロセスKIT部品を全て綺麗に洗浄しましたが、それでも不具合は改善しませんでした。
原因が判明
チャンバークリーニング後に実施しているシーズニングレシピに問題がある事を突き止めました。
シーズニングレシピの適正化の為、条件を出し直します。
改善を確認！
問題を解消し、
お客様のコストダウンに貢献
改善前はチャンバークリーニング後、一昼夜ダミーウエハを流して、製品着工を行っていました。
レシピ適正化後は、ダミーラン10枚ほどで着工できるように改善されました。
時間、ウエハー、用力の削減ができ、大満足の結果となりました。
担当者から
今回の例は、装置知識のハードはもちろんの事、プロセス知識がないと対応が難しいトラブルです。
結果は、お客様の使用状況を的確に掌握し、ここからシーズニングレシピが影響している事を導き改善する事が出来ました。
当社には装置単体の知識にとどまらない、半導体製造に関わる知識を総合的に実地レベルで運用できるエンジニアがおります。
お困りの際には是非ご相談ください。
お客様の声
多くの会社の中から、弊社を選んで頂いている理由は何でしょう？
技術的に大変信頼しております。
「困ったときには必ず助けて頂ける」といった安心感があります。
RIE装置にて、トラブルに関するFTAなど、経験豊富な知識や技術力がある為です。
「弊社に依頼して良かった」と感じたエピソードはありますか？
装置状態を把握しており細かな事まで知っているので異常箇所の特定が早い。
2年前の連休中に、突発故障により緊急必要部品が発生しました。
メーカーへ部品手配するにも、パーツ番号が不明により、大変困った事態が発生しました。
誠に勝手ながら、御社の方の個人携帯電話に連絡をした場合でも、心よく親切に対応して頂き、とても感謝しております。
弊社サービス／製品に関する感想、改善へのご意見、メッセージ等
装置改善提案などの新情報があれは、教えて頂きたいです。
改善は特にありません。今まで行って頂いているサービスを継続してください。
