選ばれる５つの理由
- 半導体事業で培った確かな真空乾燥技術
- 最大2m×2mの大容量角チャンバー
- 温度分布安定6面ヒーター独立温調制御
- ステップ処理で正確な自動処理
- フルカスタムならではの超柔軟な仕様対応
1. 半導体業界で培った確かな真空乾燥技術
50年の信頼と実績
精密性を求められる半導体業界において、
お客様の要求する品質に応え続けてきました。
現在では樹脂・フィルム・電池・バイオ・医薬・食品など、
様々な分野でO-TECの装置は活躍しています。
2. 角チャンバーだから圧倒的に使いやすい
比較
一般的な他社様の量産品
球形チャンバーの場合、中に入れられる試料は少量
入り口が狭い場合は特に注意
試料の形状や配置が制限される
O-TEC フルカスタム真空乾燥炉
使いやすさを追求した角チャンバー
高真空領域対応
内寸2mx2mの大容量を実現
入り口は広く配置も自在
最大1tの搭載が可能
なぜ一般的な量産品では、使いやすい角チャンバーが採用されていないのですか？
角チャンバーを実現するには、高度な技術力を要するためです。
内部が真空になると、内側に向かって気圧が大きな力となってかかります。
その際たわみが大きいと、破損や真空度の低下などの懸念が生じます。
そこでO-TECの研究開発チームはチャンバーの変形率に着目。
たわみを0.88mmという微細なレベルに抑え、ターボポンプを使った「高真空」に耐えられる高い強度と、安定した高い真空度を実現しています。
専門機関の協力により、
真空容器の構造解析を実施しています。
構造解析を実施したところ、
変形率は目標値である2mmを下回る結果でした（0.88mm）。
非常にたわみの少ない、
耐久性の高い角チャンバーを実現しています。
3. 最大６面ヒーター独立温調制御（各棚段ヒーター塔載も可能）
比較
一般的な他社様の量産品
側面は高温、中央は低温。
ヒーターと試料の間に取り外し出来る簡易な板がはめられることが多い。
温度分布のムラが大きい(±10℃程)
O-TEC フルカスタム真空乾燥炉
壁面と一体化した内層型全面(6面)ヒーター
各面が独立して高温に温度制御を実行、だから温度分布が安定します。
さらに層内で棚段を配置したい場合、各棚段毎にヒーター搭載も可能。
温度分布「±1℃～±3℃」を実現 ※試料による
温度分布が安定しない装置では、試料に対し意図した真空乾燥をかけることが困難です。
フィルムや樹脂製品など、品質の均一化が求められる試料では影響が目立ちます。
4. ステップ処理で正確な自動処理
プロセスを組んでおけば微細な調整まで自動化可能！
あらかじめプロセスを組んでおけばステップ処理で、決められた時間に、決められた温度で、決められた真空度の乾燥をフルオートで実現。
使いやすい操作パネル
O-TECの真空乾燥装置なら
パネルで現在状況を常時モニタリング可能、使いやすいタッチパネル式。
PC接続により複雑なプロセスも構築可能。
正確なプロセスの実行は研究開発段階の試行錯誤や、
生産現場の歩留まり向上施策にも最適です。
5. フルカスタムならではの超柔軟な仕様対応
- 用途に応じた小さなサイズもご用意可能、省スペースなら研究室にも入れられます
- オプションとして、チャンバー槽内回転機構（耐荷重50kg×4本）も対応可能
- 計器を通したい場合など、穴開けもご相談ください
- 棚の設置も可能、一度にまとめて処理できます
- 温度、時間、真空度、機能、幅広く対応可能
等々、市販品に無い御社独自の特別仕様など対応いたします。
仕様一覧
チャンバークリーン仕様
ヒーター面アルミアルマイト加工・セラミックヒーター搭載可能
N2.アルゴン注入可能
流量制御・150℃加温可能
大気→1Pa迄の真空度コントロール可能
酸素濃度の監視可能
ミストトラップ搭載可能
試料の温度分布±3℃（試料によっては±1℃達成）
デジタル式ロガーの塔載による情報の抜き取り可能
使用温度MAX350℃（条件による）
センサー用ポート
外部からの計測ポート穴数ご要求に応じます。
扉ゲート式可能
保安回路
漏電ブレーカー・過電流防止・過負荷防止・過熱防止
導入用途・業界例
樹脂・フィルム、ソーラー発電用蓄電池、風力発電用蓄電池、磁性材料・熱電素子材料・触媒等の水分及び溶剤の乾燥
当社は装置を
売るメーカーではありません。
技術を研き、顧客ニーズに
応え続ける技術企業です。
進歩が極めて早い半導体業界で培った「技術開発対応力」
常に進化し２年もあれば陳腐化してしまう半導体業界で、お客様から求められる非常に高い精度に応え続け、
参入時から常に日本・世界の一流メーカー様からご指名頂いてきました。
試作開発から積極的に意見交換し、より目的に沿った、精度・安全性の高い装置を開発することが可能です。
量産の際にもそのままご対応可能。
機能・性能・安定性・そしてコスト、どれをとっても高いレベルでお客様にご満足頂ける自信があります。
真空乾燥装置を導入する際には、どうぞO-TECへご相談ください！
熟練の技術者が多数在籍
日本有数の大規模クリーンルームを5室保有。
ほか、茨城、三重、岩手、広島、長崎、宮崎、福島の11拠点で全国カバー。
O-TECだからできること
フルカスタム対応可能だから思い通りの仕様を実現
試作開発から装置のエキスパート技術者が協力致します
歩留まり向上のための分析・改善も自信があります。
大手企業・大学との共同研究例も豊富。
機密情報を守る体制があります。
品質・スピード・生産コストで
勝負する企業様のための
こだわりをとことん追求できる
フルカスタム真空乾燥炉です。
樹脂・フィルム・触媒・電池ロール等の水分及び溶剤乾燥などにご利用いただけます。
フルカスタム可能だから仕様は自在。御社のノウハウを最大限に活かせる装置を製作。
装置詳細
- 高真空対応角チャンバー
- 安定時温度分布±3℃
- 真空度 大気圧～1Torr以下
- 温度MAX350℃(条件による)
- シーケンスによるプログラム制御
- 台車式可能(要ご相談)
- 温度昇温＋冷却(外周冷却)7時間以内
温度分布を検証した
データシートもございます。(一般非公開)
お問合せください！
こんなときはお気軽に ご連絡ください。
担当者がお伺い致します！
共同で研究開発できる会社を探している、どんなやり方があるのか提案して欲しい
装置の導入について検討してみたい
まだ検討段階だが、話だけ聞いてみたい
データシートを見てみたい
お問い合わせ
お電話の際には、「ウェブサイトを見て、装置設計製作の件で」とお伝え頂くとスムーズです。
